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本发明公开了一种温盐溶解氧传感器，在衬底的表面设置有相互绝缘的温度工作电极、电导率工作电极和溶解氧工作电极。其中电导率工作电极以及温度工作电极使得衬底中同时集成有温度传感器以及电导率传感器；其中隔离层覆盖溶解氧工作电极的区域设置有使溶解氧工...
该专利属于中科院微电子研究所昆山分所所有，仅供学习研究参考，未经过中科院微电子研究所昆山分所授权不得商用。

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