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一种晶圆级过渡金属硫属化合物单晶生长的方法技术
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文档序号:24077315
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本发明公开了一种晶圆级过渡金属硫属化合物单晶生长的方法,所述方法包括以下步骤:1)将金箔置于钨箔上,熔融后固化,得到单晶金(111);2)将过渡金属氧化物粉末放置在金(111)/钨基底正下方;3)将硫属单质放置于基底的上游;4)通入氩气,将...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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