下载一种半导体用镀铜添加剂的技术资料

文档序号:24077209

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本发明涉及电镀领域,具体涉及一种半导体用镀铜添加剂。所述添加剂的制备原料至少包括A组分;按质量浓度计,所述A组分包括10~60g/L聚乙二醇、0.01~1g/L铜盐、1~10g/L无机酸以及超纯水。本发明制备的半导体用镀铜添加剂,可以避免在...
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