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风扇滤网单元和无尘室制造技术
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文档序号:2405897
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一种风扇滤网单元,其包括机壳、风扇以及诱导式气流扩散板。机壳包括进风口与出风口。风扇配置于机壳内部,且配置于进风口与出风口之间。诱导式气流扩散板配置于机壳的下方。诱导式气流扩散板包括面板与框架。面板配置于出风口的下方,且面板具有多个呈辐射状...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。
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