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托盘及具有其的载具制造技术
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下载托盘及具有其的载具的技术资料
文档序号:24057360
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本实用新型提供了一种托盘及具有其的载具,托盘用于放置附有薄膜的晶片,托盘包括:底盘;多个凸台,多个凸台间隔设置在底盘上,底盘与多个凸台围绕形成用于放置晶片的容纳腔,凸台的背离底盘的一面用于承载薄膜凸出于晶片的部分;在底盘的周向上,相邻两个凸...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。
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