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薄膜压力传感器标定装置制造方法及图纸
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文档序号:24054282
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本申请提供了一种薄膜压力传感器标定装置,涉及传感器标定的技术领域,包括作动器、力传导组件,以及用于放置薄膜压力传感器的支座;力传导组件包括顺次叠置的第一薄膜、保护膜和导力板,导力板用于承受作动器施加的力,第一薄膜用于与薄膜压力传感器的一侧表...
该专利属于孟超所有,仅供学习研究参考,未经过孟超授权不得商用。
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