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本实用新型涉及真空炉设备技术领域,尤其是涉及一种多用真空炉系统,包括多个真空炉、搬送室和旋转盘;多个真空炉围绕旋转盘呈环形分布;搬送室位于旋转盘上,且搬送室在旋转盘的带动下旋转,使搬送室的出料口朝向不同的真空炉;旋转盘上设置有直线轨道,搬送...该专利属于爱发科真空技术(沈阳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱发科真空技术(沈阳)有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及真空炉设备技术领域,尤其是涉及一种多用真空炉系统,包括多个真空炉、搬送室和旋转盘;多个真空炉围绕旋转盘呈环形分布;搬送室位于旋转盘上,且搬送室在旋转盘的带动下旋转,使搬送室的出料口朝向不同的真空炉;旋转盘上设置有直线轨道,搬送...