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本发明提供能够抑制测量精度的下降的、表面应力传感器和其制造方法。该表面应力传感器(1)具备：薄膜(22)，其在被施加的表面应力的作用下挠曲；框架构件(24)，从薄膜(22)的厚度方向观察时，该框架构件(24)与薄膜(22)空开间隙地包围薄膜...
该专利属于旭化成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭化成株式会社授权不得商用。

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