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本发明的课题是抑制回蚀时暴露出来的蚀刻对象膜以外的膜与蚀刻气体的反应。解决手段是进行以下工序：对于在表面形成了第一金属膜的开口部中埋入了第二金属膜的基板，供给含氧气体和含氟蚀刻气体来对所述第二金属膜进行回蚀的回蚀工序；和，将所述含氧气体和所...
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