下载多晶硅铸锭炉的技术资料

文档序号:24009855

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉,包括顶部保温板、坩埚盖板和气路结构,所述气路结构包括穿过所述顶部保温板和所述坩埚盖板连通于所述坩埚内的进气管、穿过所述坩埚盖板和顶部保温板连通所述坩埚内与所述铸锭炉外的若干排气、位于所述顶部保温板外的气路保...
该专利属于洛阳阿特斯光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳阿特斯光伏科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。