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本实用新型公开了一种脉冲碳离子激发源装置,包括阳极、第一石墨电极、第二石墨电极、第三石墨引弧和作为消耗性阴极的石墨靶材;从上往下依次设置,且中心在一条直线上;当真空室内达到预定真空度时,分别在第一石墨电极与第三石墨引弧、第一石墨电极与石墨靶...该专利属于江苏徐工工程机械研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏徐工工程机械研究院有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种脉冲碳离子激发源装置,包括阳极、第一石墨电极、第二石墨电极、第三石墨引弧和作为消耗性阴极的石墨靶材;从上往下依次设置,且中心在一条直线上;当真空室内达到预定真空度时,分别在第一石墨电极与第三石墨引弧、第一石墨电极与石墨靶...