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本发明实施例公开了一种光学测量系统，包括光源单元、照明单元、投影图案单元、投影支路、探测支路以及探测器；投影支路包括至少一个投影凹面反射镜和一个投影凸面反射镜，投影凹面反射镜和投影凸面反射镜为offner结构；探测支路包括至少一个探测凹面反...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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