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本公开涉及MEMS镜特性的监控，具体提供了用于监控微机电系统(MEMS)振荡结构的特性的系统和方法。一种系统包括：MEMS振荡结构，被配置为非线性谐振器，以围绕旋转轴振荡；驱动器，被配置为根据操作响应曲线来生成用于驱动MEMS振荡结构围绕旋...
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