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一种静电检测装置制造方法及图纸
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下载一种静电检测装置的技术资料
文档序号:24009234
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一种静电检测装置,属静电测量领域。在屏蔽装置前端设置一个罩状金属质前置静电感应电极,前置静电感应电极将振动电极的至少一部分罩在其内部的立体空间中;振动电极针对前置静电感应电极上的感应静电荷进行检测;前置静电感应电极与屏蔽装置之间电绝缘地连接...
该专利属于上海安平静电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海安平静电科技有限公司授权不得商用。
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