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带加热时间估计的组合式RF和热加热系统技术方案
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下载带加热时间估计的组合式RF和热加热系统的技术资料
文档序号:23992771
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加热系统的实施例包括配置成容纳装料的腔室、热加热系统和RF加热系统。所述RF加热系统包括:系统控制器、RF信号源、从所述RF信号源接收RF信号并将所得电磁能辐射到所述腔室中的一个或多个电极,以及耦合在所述RF信号源与所述一个或多个电极之间的...
该专利属于恩智浦美国有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩智浦美国有限公司授权不得商用。
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