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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，其中谐振器包括：衬底，衬底上开设有空腔；键合层，包括设在空腔外的衬底上表面的第一键合层和第二键合层，第一键合层的厚度小于第二键合层的厚度；底电极层，设在所述第一键合层的上表面，并完全覆盖空腔，使...
该专利属于河源市众拓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市众拓光电科技有限公司授权不得商用。

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