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一种高透明度柔性薄膜晶体管及制作方法技术
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文档序号:23989157
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本发明公开了一种高透明度柔性薄膜晶体管及制作方法,所述柔性薄膜晶体管具体结构为层式结构,自下而上依次为柔性衬底层(1)、栅极层(2)、栅绝缘层(3),有源区(4)以及源极(5)、漏极(6);所述栅极层(2)采用重掺杂的ITO材料制成;所述栅...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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