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本实用新型公开了一种稀有气体进气过滤器，包括滤壳和滤芯，滤壳包括进气口和出气口，滤壳的进气口和出气口均设有KF法兰结构与外部管道连接，滤芯设有布满孔的外壳。滤壳的进气口和出气口均通过KF法兰结构与外部管道连接，气密性好，连接牢固；布满孔的外...
该专利属于苏州寿力气体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州寿力气体设备有限公司授权不得商用。

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