下载一种光纤端面微悬臂梁传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:23980551

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本发明公开了一种光纤端面微悬臂梁传感器及其制备方法,光纤端面微悬臂梁传感器包括:光纤;悬臂梁结构,通过飞秒激光双光子聚合技术聚合在所述光纤的一端面;所述悬臂梁结构为聚合物结构,悬臂梁结构包括支柱和微悬臂梁;微悬臂梁与光纤的端面平行。本发明通...
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