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本实用新型公开了一种砷化镓多晶合成用舟状坩埚,包括坩埚主体,坩埚主体的内腔中设置有挡板,挡板将内腔分隔为较大的主体腔以及较小的富镓腔,挡板的顶端与坩埚主体的开口端齐平,挡板的底端与坩埚主体的底部之间形成有连通主体腔与富镓腔的间隙,在应用时,...该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种砷化镓多晶合成用舟状坩埚,包括坩埚主体,坩埚主体的内腔中设置有挡板,挡板将内腔分隔为较大的主体腔以及较小的富镓腔,挡板的顶端与坩埚主体的开口端齐平,挡板的底端与坩埚主体的底部之间形成有连通主体腔与富镓腔的间隙,在应用时,...