下载研磨用浆液及研磨方法的技术资料

文档序号:23940428

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一种研磨用浆液,其含有磨粒、液状介质和下述式(1)所示的化合物的盐,磨粒含有第1粒子和与该第1粒子接触的第2粒子,第1粒子含有铈氧化物,第2粒子含有4价金属元素的氢氧化物。...
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