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一种碳纳米管薄膜晶体管的制备方法，其制备步骤为：(1)清洗硅片；(2)蒸镀500nm铝薄膜；(3)制备掺磷的二氧化硅薄膜；(4)光刻图形化；(5)蒸发金属电极；(6)丙酮剥离；(7)转移CNT网络；(8)二次光刻定义CNT网络图形；(9)R...
该专利属于天津宝兴威科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津宝兴威科技股份有限公司授权不得商用。

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