下载光电二极管及其制作方法、以及高速光耦的技术资料

文档序号:23936612

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本发明公开一种光电二极管,包括:第一导电类型的衬底;从衬底的表面延伸进入衬底中的第二导电类型的埋层;形成在埋层上的第二导电类型的外延层;从外延层远离衬底的表面延伸进入外延层中的第一导电类型的受光区;还包括:围绕受光区的第一导电类型的第一隔离...
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