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一种基于摩擦纳米发电机的自驱动加速度传感器制造技术
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文档序号:23930720
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本发明提供一种基于摩擦纳米发电机的自驱动加速度传感器,包括屏蔽外壳,屏蔽外壳内设有接触式摩擦发电装置,接触式摩擦发电装置包括竖直设置在屏蔽外壳内的基板以及两侧的悬臂梁。悬臂梁和基板之间又栅格式电极层和栅格式介电材料层,当屏蔽外壳处于某一加速...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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