下载一种便携式光学气体传感器的技术资料

文档序号:23930241

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本发明公开的一种便携式光学气体传感器,包括第一衬底和功能单元,所述功能单元至少包括第二衬底和依次制备在第二衬底上的热阻材料层、电绝缘介质层、光吸收层,以及设置在热阻材料层上的电极;所述光吸收层形成光栅,具有不同的吸收波长;所述电极与光吸收层...
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