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本发明涉及一种曲率半径测量装置及其测量方法，所述曲率半径测量装置包括样品台、衍射光阵列产生模块和探测分析模块，通过衍射光阵列产生模块产生并向样品发射衍射光阵列，到达样品表面后，经过样品表面反射发出反射光阵列，探测分析模块接收所述反射光阵列，...
该专利属于深圳市速普仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市速普仪器有限公司授权不得商用。

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