下载一种PCVD法制备有源光纤预制棒的装置和方法的技术资料

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本发明公开了PCVD法制备有源光纤预制棒的装置和方法,装置包括PCVD装置和掺杂装置,掺杂装置包括气化单元、气相传输单元和气相沉积单元,气相沉积单元包括衬管,气化单元包括普通沉积原料供给子单元、共掺物原料供给子单元和稀土卤化物原料供给子单元...
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