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本发明涉及一种温度补偿微机电振荡器及其制造方法。振荡器包括谐振元件，该谐振元件包括高掺杂硅和致动器，该致动器用于激励所述谐振体进入具有特征频率‑温度曲线的谐振模式。选择谐振元件和致动器的特性，使得曲线在85℃或更高的翻转温度处具有高温翻转点...
该专利属于京瓷帝基廷公司所有，仅供学习研究参考，未经过京瓷帝基廷公司授权不得商用。

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