下载高落差台阶结构的多色LED外延芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:23895800

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高落差台阶结构的多色LED外延芯片,包括衬底层,其特征在于:所述衬底层上形成至少一层的台阶结构,台阶与衬底层表面之间的落差≥5μm,每层台阶之间的落差≥5μm,在含有台阶结构的衬底层上依次生长GaN缓冲层、InGaN多量子阱...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。