下载具有延伸穿过层堆叠的沟道开口或支柱的半导体装置和系统以及形成方法的技术资料

文档序号:23895553

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及具有延伸穿过层堆叠的沟道开口或支柱的半导体装置和系统,以及形成方法。装置、系统和结构包含布置于层的一或多个层面中的材料的竖直交替层的堆叠。其中可形成沟道支柱的沟道开口延伸穿过所述堆叠。所述支柱包含横向延伸到所述沟道开口的“底切部分...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。