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本发明公开了一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件及其制备方法，涉及半导体气体传感技术领域，具体步骤为：步骤1：通过球磨机将金属氧化物纳米颗粒和乙基纤维素/松油醇溶液按照质量比为1：1均匀混合，制备成金属氧化物气敏浆料；步骤2：将金属氧化...
该专利属于中国工程物理研究院化工材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院化工材料研究所授权不得商用。

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