下载多晶硅还原炉热量回收利用系统及方法的技术资料

文档序号:23886200

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本发明公开了一种多晶硅还原炉热量回收利用系统,包括设置在还原炉外壁用于对炉壁冷却降温的还原炉冷却夹套,以及设置在还原炉上方的闪蒸汽包;所述还原炉冷却夹套下部设置有冷却水进口,上部设置有冷却水出口;所述闪蒸汽包包括汽包进水口和汽包出水口;所述...
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