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本发明涉及单晶硅生产技术领域，提供直拉硅单晶炉，包括：炉体；坩埚，位于所述炉体内部；籽晶杆，位于炉体内部，籽晶杆沿着自身轴向相对坩埚可升降，且在转动状态籽晶杆以设定转速差相对坩埚沿着同一方向转动。本发明的拉硅单晶炉，由于坩埚与籽晶杆朝着同一...
该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。

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