温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一镀膜设备和镀膜设备的工作方法，其中所述镀膜设备供至少一待镀膜工件镀膜，其中所述镀膜设备包括一反应腔体、一气体供给部、一真空抽气装置以及一非对称双极性脉冲电源，其中所述反应腔体具有一反应腔，所述反应腔用于容纳该待镀膜工件，其中所...
该专利属于江苏菲沃泰纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏菲沃泰纳米科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。