下载一种新型半导体晶圆承载台的技术资料

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本实用新型公开了一种新型半导体晶圆承载台,涉及到半导体领域,包括承载台,承载台的顶部固定连接有多组承载齿,承载齿包括有固定齿和调节齿,承载台的内部开设有调节通道,调节通道的内部活动安装有活动板,调节通道的顶部开设有多个活动槽,活动板的顶部固...
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