下载一种六工位恒温箱的技术资料

文档序号:23859400

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本实用新型公开了一种六工位恒温箱,涉及半导体生产技术领域,包括密封柜,所述密封柜的内壁固定连接有保温层,所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层,所述密封柜的正面固定安装有密封板,所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板...
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