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本发明公开了一种多功能检漏管阀系统,包括真空泵,与真空泵管路连接且与外部被检器件连接的管阀机构,分别与管阀机构连接的真空计、压力传感器、流量控制器和压力显示表,与压力传感器连接的压力数据采集仪,与真空泵连接的真空显示二次仪表,分别与真空泵、...该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种多功能检漏管阀系统,包括真空泵,与真空泵管路连接且与外部被检器件连接的管阀机构,分别与管阀机构连接的真空计、压力传感器、流量控制器和压力显示表,与压力传感器连接的压力数据采集仪,与真空泵连接的真空显示二次仪表,分别与真空泵、...