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本发明的实施例公开了一种压力传感装置、制备方法和压力传感系统，该压力传感装置的第一薄膜集成结构和第二薄膜集成结构之间通过垫片支撑形成谐振腔。压力传感装置受到按压时，施加按压区域的谐振腔的腔长发生变化，影响第一薄膜集成结构和第二薄膜集成结构中...该专利属于中国移动通信集团设计院有限公司;中国移动通信集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国移动通信集团设计院有限公司;中国移动通信集团有限公司授权不得商用。