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本发明提供了一种用于三维成像的探测器及其制作方法,解决现有位敏阳极探测器容易漏气导致器件无法使用,增加后续电子学处理难度的问题。该探测器包括管壳壳体、微通道板组件、位敏阳极组件、带有光阴极的输入窗,位敏阳极组件包括上层阳极接收面板、下层阳极...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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