下载一种用于微小质量检测的耦合双端固支梁谐振器及质量检测方法的技术资料

文档序号:23846892

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本发明公开了一种用于微小质量检测的耦合双端固支梁谐振器及质量检测方法,谐振器包括第一双端固支梁、第二双端固支梁、第一耦合区域和第二耦合区域,第一双端固支梁和第二双端固支梁平行设置,且第一双端固支梁和第二双端固支梁的第一同向端固定在第一耦合区...
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