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本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底，第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中...
该专利属于无锡莱斯能特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡莱斯能特科技有限公司授权不得商用。

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