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一种快速营造极低露点空气环境的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:23845176
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本发明公开了一种快速营造极低露点空气环境的装置及方法。主要由真空抽气泵、鼓风机、空气组分混合箱、截止阀、光声光谱多气体分析仪、PID控制器、水蒸气添加设备以及连接以上装置的管路、电路和阀门组成。本发明的特征在于采用真空泵预先抽真空后,再按所...
该专利属于南京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京工业大学授权不得商用。
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