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本实用新型涉及一种高刚性平面度调节装置，包括：底板支撑机构、负载支撑机构和旋转机构；底板支撑机构设置于负载支撑机构之下，并与负载支撑机构相连接，旋转机构设置于负载支撑机构之上，并与负载支撑机构可拆卸连接；旋转机构能够旋转负载支撑机构，使底板...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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