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一种高速激光加工装置及加工方法，该装置包括光源入射光路系统、空间光调制器、扫描振镜系统和样品加工系统，其中，空间光调制器，用于通过加载预先设计的相位全息图从而实现对由所述光源入射光路系统出射光束相位分布的调控；扫描振镜系统，由空间光调制器出...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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