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本发明公开了一种微帕量级水汽发生器及其应用，目的在于解决现有技术进行水汽反应时，采用载气带水产生水汽的方式，其需要的水量在几克以上的数量级，当进行超高真空环境下（低于10...
该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。

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