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本发明公开了一种三维MEMS海洋湍流传感器，涉及传感器领域。该三维MEMS海洋湍流传感器包括传感单元，传感单元包括基底结构，基底结构上设有四个呈十字形排列的微悬臂梁，各个微悬臂梁朝向十字形中心的一端呈卷曲状，基底结构和微悬臂梁上包覆有弹性包...
该专利属于中国海洋大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国海洋大学授权不得商用。

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