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一种金刚石膜的等离子体电弧沉积装置与方法,属金刚石材料制备技术领域。采用具有多级磁场控制的直流电弧等离子体装置沉积大面积共形金刚石膜:通过稳弧磁场线圈产生的磁场实现对旋转等离子体电弧的稳定控制;扩展弧线圈在进一步稳定电弧的同时,扩展旋转电弧...
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