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一种金刚石膜的等离子体电弧沉积装置与方法制造方法及图纸
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下载一种金刚石膜的等离子体电弧沉积装置与方法的技术资料
文档序号:23784165
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一种金刚石膜的等离子体电弧沉积装置与方法,属金刚石材料制备技术领域。采用具有多级磁场控制的直流电弧等离子体装置沉积大面积共形金刚石膜:通过稳弧磁场线圈产生的磁场实现对旋转等离子体电弧的稳定控制;扩展弧线圈在进一步稳定电弧的同时,扩展旋转电弧...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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