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蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液技术
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文档序号:23783682
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一种蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液,属于蓝宝石抛光技术领域。该蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉的制备方法,包括以下步骤:S1,按重量比例取0.05~0.25mol/L的硫酸铝铵溶液、0.5~5mol/L的碳酸氢铵溶液和分散剂混合均...
该专利属于苏州纳迪微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳迪微电子有限公司授权不得商用。
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