下载掺杂金刚石半导体及其制造方法的技术资料

文档序号:23774895

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本文中公开一种掺杂金刚石半导体和使用激光的制造方法。如所公开的,可将掺杂物和/或金刚石或蓝宝石晶种材料添加到定位于限制层下方的基于石墨的烧蚀层,所述烧蚀层也是基于石墨的且定位于背衬层上方,以通过激光束作用于所述烧蚀层来促使形成具有所需半导体...
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