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本发明公开的一种单光子雪崩二极管,包括P型衬底,位于P型衬底上的高压N阱以及高压N阱之间的P型隔离区;位于高压N阱中的N型注入扩散层和P型注入扩散层;位于N型注入扩散层和P型注入扩散层周围的P型保护环和N型接触端;位于P型隔离区上方的浅沟槽...该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明公开的一种单光子雪崩二极管,包括P型衬底,位于P型衬底上的高压N阱以及高压N阱之间的P型隔离区;位于高压N阱中的N型注入扩散层和P型注入扩散层;位于N型注入扩散层和P型注入扩散层周围的P型保护环和N型接触端;位于P型隔离区上方的浅沟槽...